장비지원 나노팹센터

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개요

Micro/Nano 연구장비를 구비 Micro/Nano 관련 공정 개발 및 제품 개발 지원

지원대상

기술 및 제품 개발 과정에서 Micro/Nano 연구장비를 활용하고자 하는 법인 및 개인

지원내용

  • - Deposition
  • - Etching
  • - Inspection
  • - Photo Lithography
  • - Photo Lithography
  • - Assembly
  • - Wet-Station

보유장비

E-Beam Lithography, Multi Sputter, Deep Trench RIE, M-2000 laser , AOE Etcher, Oxford ICP 등 62개

· 보유장비 상세보기

지원절차

지원절차

문의

  • · 한국과학기술연구원 Micro-Nano Fab센터
  • - 담당자 : 곽승민 팀장
  • - 전화 : 02-958-6315
  • - 이메일 : smkwak@kist.re.kr